VLSI超純水站設(shè)計(jì)
| 論文類(lèi)型 | 技術(shù)與工程 | 發(fā)表日期 | 2001-03-01 |
| 來(lái)源 | 《中國(guó)給水排水》2001年第3期 | ||
| 作者 | 劉建偉,莫德舉,寇玉香 | ||
| 關(guān)鍵詞 | 超純水站 設(shè)計(jì) 工藝 設(shè)備選型 | ||
| 摘要 | 劉建偉1，莫德舉1，寇玉香2 (1.北京化工大學(xué)信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院，北京100029；2.新疆維吾爾自治區(qū)農(nóng)科院，新疆烏魯木齊830000) 摘 要：介紹了清華大學(xué)微電子所VLSI超純水站工藝設(shè)計(jì)思想及設(shè)備選型，并闡明了對(duì)關(guān)鍵設(shè)備選型及材質(zhì)的技術(shù)要求。 關(guān)鍵詞：超純水站；設(shè)計(jì)；工藝；設(shè) ... | ||
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